Bu hafta ASML , 0,33 sayısal açıklığa sahip bir projeksiyon lensiyle 3. Nesil ekstrem ultraviyole (EUV) litografi aracı Twinscan NXE:3800E’yi teslim etti. Sistem, mevcut Twinscan NXE:3600D makinesine kıyasla performansı önemli ölçüde artırıyor. Yeni cihaz önümüzdeki yıllarda 3nm, 2nm ve altında ileri teknolojilerde çipler üretmek için tasarlandı.
ASML Twinscan NXE:3800E, düşük NA EUV litografisinde performans (saatte işlenen levha sayısı) ve uyumlu işlenmiş kaplama ile ilgili olarak ileriye doğru bir atılımı temsil ediyor . Yeni sistem, 30 mJ/cm^2 dozunda saatte 195’ten fazla levhayı işleyebiliyor ve üretim kapasitesinin yükseltilmesiyle performansta 220 wph’ye kadar daha fazla artış vaat ediyor. Buna ek olarak, yeni araç 1,1 nm’den daha az uyumlu makine yerleşimi (levha hizalama doğruluğu) sunar.
ASML, X’te yayınlanan bir bildiride “Yonga üreticilerinin hıza ihtiyacı var” dedi. “İlk Twinscan NXE:3800E şu anda bir yonga fabrikasına kuruluyor. Yeni levha aşamaları ile sistem, gelişmiş baskı için son teknoloji üretkenlik sunacak litografiyi yeni sınırlara zorluyoruz.”
Artan verim, 4nm/5nm ve 3nm sınıfı proses teknolojilerinde çipler üretirken Twinscan NXE:3800E makinesinin ekonomik verimliliğini artıracaktır . ASML Twinscan NXE:3800E’nin geliştirilmiş performansının , EUV teknolojisinin temel dezavantajlarından biri olan nispeten düşük performansı önemli ölçüde hafifletmesi ve böylece daha verimli ve uygun maliyetli çip üretimine olanak sağlaması bekleniyor. Bu, EUV’ye dayanan süreç teknolojilerini daha kolay hale getirecek. Apple, AMD, Intel, Nvidia ve Qualcomm gibi sektörün devlerinin işleri kolaylaşarak hızlanacaktır. Araç ayrıca Micron, Samsung ve SK Hynix gibi bellek üreticileri için de işler önemli ölçüde hızlanacak.
Buna ek olarak Twinscan NXE:3800E’nin geliştirilmiş performansı, özellikle 2nm’de çipler yapmak ve EUV çift desenlemeye ihtiyaç duyacak sonraki üretim teknolojileri sınıfları için yararlı olacaktır. Eşleşen makine katmanındaki iyileştirmeler, 3nm altı üretim sürecinde fayda sağlayacaktır.
kaynak:https://www.tomshardware.com
