Etiket: litografi
ASML使用高NA EUV光刻产生了上半场导体
Hollanda merkezli ASML, High-NA EUV litografi aracını kullanarak ilk yarı iletken numunelerin oluşturulduğunu duyurdu. Etkinlik yalnızca ASML için değil aynı zamanda bir bütün olarak High-NA EUV teknolojisi için de önemli bir dönüm noktasıdır. “Veldhoven’daki High-NA EUV sistemimiz dünyanın ilk 10…